采用压电陶瓷驱动的Z向压电纳米定位扫描台，压电扫描台内部使用无摩擦、无回差的柔性铰链导向结构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电扫描台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式设计，且中央通孔较大，可更好的集成于显微及扫描系统中。
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13162165677规格型号1 | PT4V150-200S | PT4V150-200S-S | 公差 8 |
运动轴 | Z+θx、θy | Z+θx、θy | - |
集成传感器 | - | SGS | - |
标称行程范围（@0~+120V） | (Z)100μm (θxθy)±206”[Sec] ≈±1mrad | (Z)100μm (θxθy)±206”[Sec] ≈±1mrad | ±20% |
最大行程范围2 @-20~+150V） | (Z)110μm (θxθy)±309”[Sec] ≈±1.5mrad | (Z)110μm (θxθy)±309”[Sec] ≈±1.5mrad | ±20% |
分辨率3 | (Z)3nm、(θxθy) 0.03μrad | (Z)3nm、(θxθy) 0.03μrad | typ. |
最小移动步长4 | (Z)3nm、(θxθy) 0.03μrad | (Z)3nm、(θxθy) 0.03μrad | typ. |
线性误差 | - | (Z)0.03%、（θxθy）0.02% | typ. |
重复定位精度（全行程） | - | 0.02% | typ. |
承载能力5 | 50 N | 50 N | typ. |
谐振频率（0g） | （Z）350 Hz | （Z）350 Hz | ±20% |
驱动机构 | PZT | PZT | - |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
线缆长度 6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中孔尺寸 | 66×66mm | 66×66mm | |
外形尺寸（长×宽×高） | 150×150×30 mm | 150×150×30 mm | - |
重量7 | 825 g | 825 g | ±5% |
PZT&Sensor 连接器 | LEMO | LEMO | - |
本体材质 | 铝、钢 | 铝、钢 | - |
注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。 1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。
2. 最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3. 分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。
4. 指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。
5. 轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6. 更长的线缆长度请咨询。
7. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8. 公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。
