PT系列简介
特性说明:采用并联运动设计,它具有高谐振频率实现动态运动和高定位重复性,是激光束扫描和精密光学镜面对准等应用的理想选择。应用领域包括图像处理/稳定、光学捕获、激光扫描、光束偏转、激光调谐、光学过滤器/开关、光学、激光束稳定等。
- 商品特性: 可客制化
- 承载能力: θx、θxθy、Z+θxθy
咨询服务热线:
13162165677应用于半导体/微细加工/分析仪器/微扫描/生物技术/光学领域 压电 ● 纳米 ● 定位 ● 运动 ● 控制 ● 系统 ● 定制 ● 解决方案
应用于半导体/微细加工/分析仪器/微扫描/生物技术/光学领域 压电 ● 纳米 ● 定位 ● 运动 ● 控制 ● 系统 ● 定制 ● 解决方案
特性说明:采用并联运动设计,它具有高谐振频率实现动态运动和高定位重复性,是激光束扫描和精密光学镜面对准等应用的理想选择。应用领域包括图像处理/稳定、光学捕获、激光扫描、光束偏转、激光调谐、光学过滤器/开关、光学、激光束稳定等。
咨询服务热线:
13162165677■ 选型指南
注:点击【规格型号】可链接到详细界面。
运动轴 | 规格型号 | 行程范围 | 分辨率 | 谐振频率【0g】 | 外形尺寸 |
500”[Sec] ≈2.5mrad | 0.10 μrad | 3000 Hz | 33×14×24 mm | ||
| 500 ”[Sec] ≈ 2.5 mrad/轴 | 0.10 μrad | 3700 Hz | Ø25×38 mm | |
800 ”[Sec] ≈ 4.0 mrad/轴 | 0.15 μrad | 3500 Hz | Ø25×47 mm | ||
1000 ”[Sec] ≈ 5.0 mrad/轴 | 0.20 μrad | 3400 Hz | Ø25×56 mm | ||
1300 ”[Sec] ≈ 6.5 mrad/轴 | 0.25 μrad | 3300 Hz | Ø25×65 mm | ||
1500 ”[Sec]≈ 7.5 mrad/轴 | 0.25 μrad | 3200 Hz | Ø25×74 mm | ||
1800 ”[Sec]≈ 9.0 mrad/轴 | 0.30 μrad | 3100 Hz | Ø25×83 mm | ||
2000 ”[Sec]≈ 10 mrad/轴 | 0.35 μrad | 3000 Hz | Ø25×92 mm | ||
300 ”[Sec]≈ 1.5 mrad/轴 | 0.05 μrad | 2000 Hz | Ø59×38 mm | ||
600 ”[Sec]≈ 3.0 mrad/轴 | 0.10 μrad | 1400 Hz | Ø59×56 mm | ||
1200 ”[Sec]≈ 6.0 mrad/轴 | 0.20 μrad | 1000 Hz | Ø59×92 mm | ||
5000 ”[Sec]≈ 25 mrad/轴 | 1.50 μrad | 500 Hz | Ø90×63 mm | ||
±160”[Sec]≈ ±0.8 mrad/轴 | 0.05 μrad | 300 Hz | 125×125×20 mm | ||
1200 ”[Sec]≈ 6 mrad/轴 | (θxθy)0.4μrad、(Z)2.5nm | 2000 Hz | Ø25×56 mm | ||
±160 ”[Sec]≈±0.8mrad/轴 | (θxθy)0.05μrad、(Z)3nm | 400 Hz | 150×150×26.5mm |