压电&手动复合系统
压电&手动调节系统易于操作且价格合理，将手动测微分尺驱动的两轴线性运动平台与高分辨率，长距离纳米定位器相结合实现宽范围使用调节。进入粗定位台各轴的稳定阻滞力为精密纳米定位提供了可靠的基础。内置的纳米定位系统具有最低的轮廓，并在闭环控制下提供亚纳米分辨率
- 运动方向： XYZ轴压电+XY手动
- 标称行程： 100x100x100μm（压电）
- 中空尺寸： RMS
- 结构形式： 13mm x 13mm（手动）
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13162165677产品型号 | PK3L140-100U | PK3L140-100U-S | 公差 | 备注 | |
压电部分 | |||||
运动自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | - | |
标称行程范围（@0~+120V） | 100 μm x 100 μm x 100 μm | 100 μm x 100 μm x 100 μm | ±5% | - | |
最大行程范围（@-20~+150V） | 130 μm x 130 μm x 130 μm | 130 μm x 130 μm x 130 μm | ±20% | - | |
分辨率 | 3.5 nm / 轴 | 3.5 nm / 轴 | typ. | Note 1 | |
重复定位精度 | - | 0.02% F.S. / 轴 | typ. | - | |
线性度 | - | 0.02% / 轴/ 轴 | typ. | - | |
空载阶跃时间 | 2 ms | 10ms | typ. | Note 2 | |
承载能力（推荐） | 20 N | 20 N | Max. | - | |
谐振频率 | 0g | （XY）600 Hz、（Z）520 Hz | （XY）600 Hz、（Z）520 Hz | ±20% | Note 3 |
谐振频率 | 200g | （XY）450 Hz、（Z）270 Hz | （XY）450 Hz、（Z）270 Hz | ±20% | - |
运动方向刚度 | （XY）3.3 N/μm、（Z）0.5N/μm | （XY）3.3 N/μm、（Z）0.5N/μm | ±20% | - | |
运动方向推力/拉力 | 100N / 20N | 100N / 20N | ±20% | - | |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | - | - | |
工作温度范围 | 0~+50 ℃ | 0~+50 ℃ | - | - | |
线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | Note 4 | |
中空尺寸(LxW) | RMS（可定制50 x 60 mm） | RMS（可定制50 x 60 mm） | Max. | ||
外形尺寸(LxWxH) | 140 ×140 ×23.2 mm | 140 ×140 ×23.2 mm | - | - | |
重量 | 1000 g | 1000 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本体材质 | 铝 | 铝 | - | - | |
手调部分 | |||||
运动自由度 | X、Y | - | - | ||
行程范围 | 13 mm x 13 mm | Max. | - | ||
分厘卡分辨率 | 10 μm | - | - | ||
重量 | 750 g | ±50% | - | ||
中心孔径 | 25.4 mm | - | - | ||
垂直负载能力） | 0.9 kg | Max. | - | ||
水平负载能力 | 4.5 kg | Max. | - | ||
外形尺寸(LxWxH) | 160.8 mm x 154.9 mm x 25.4mm（含分厘卡尺寸） | - | - | ||
Note：尾缀带“S”的为闭环，尾缀为空为开环。
1. 指实际分辨率，为PCM931S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。（另，驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率，因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。即型号为PCM931S压电控制器的驱动电压纹波噪声为2mVpp，则对应的压电平台的分辨率约为0.8nm）。
2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。
3. 为压电纳米定位系统共振频率，使用时应避开此频率，建议在负载对应的谐振频率80%下使用。
4. 线缆长度可定制。
5. 台体重量包括线缆及连接器的重量。
6. 可定制连接器型号。
注：以上规格参数基于实验室环境测得。
