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13062620377规格型号 | PAL7M14-65 | PAL7M14-65-S | 公差 |
运动自由度 | X | X | |
传感器类型 | / | Strain Gage | |
行程范围_测微头 | ±13 mm | ±13 mm | |
行程范围_压电部分1 | 7 μm | 7μm | ±10% |
测微头_灵敏度 | 1 μm | 1 μm | |
测微头_分辨率 | 10 μm | 10 μm | |
测微头_螺距 | 0.5 mm/圈 | 0.5 mm/圈 | |
测微头_最小读数 | 0.5 μm/格 | 0.5 μm/格 | |
压电_分辨率2 | 0.5 nm | 0.5 nm | typ. |
线性度 | - | 0.2% | typ. |
重复定位精度 | - | 0.15% | typ. |
承载能力3 | 1Kg | 1Kg | Max. |
谐振频率 | 2000 Hz | 2000 Hz | ±20% |
运动方向刚度 | 2 N/μm | 2 N/μm | ±20% |
运动方向推力/拉力 | 20 N / 10 N | 20 N / 10 N | ±20% |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
线缆长度4 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
外形尺寸 | 65x65x25mm | 65x65x25mm | |
重量5 | 540 g | 540 g | ±5% |
PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | |
本体材质 | 钢、铝 | 钢、铝 |
订购信息
产品型号 | 传感器类型 | 规格描述 | 电气连接 | 线缆长度 |
PAL7M14-65 | / | 压电式微分头适配器、开环、行程7μm、±13mm微分头（球端） | LEMO | 1.5m |
PAL20M14-65 | / | 压电式微分头适配器、开环、行程15μm、±13mm微分头（球端） | LEMO | 1.5m |
PAL7M14-65 | SGS | 压电式微分头适配器、闭环、SGS传感器、行程7μm、±13mm微分头（球端） | LEMO | 1.5m |
PAL20M14-65 | SGS | 压电式微分头适配器、闭环、SGS传感器、行程15μm、±13mm微分头（球端） | LEMO | 1.5m |
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