电容测微仪 -- NMT.C3
任何导电体的非接触式测量、极限分辨率为2.5nm 、带宽2 kHz（-3dB）、重复性5nm、紧凑型传感器设计（Φ10mm）、可集成在用户设备中、适用于200μm的测量范围
- 标称行程： 0~200μm
- 通道定制： 3~6通道
咨询服务热线：
13162165677型号 | NS.C3 |
通道数 | 3 |
传感器类型 | Capacitive |
量程范围(max) | 200 μm |
参考距离 | 80 μm |
线性度1 | ±0.1 μm |
静态分辨率（极限） | 0.0025 μm |
动态1kHz分辨率 | 0.1 μm |
传感器直径 | 10 mm |
标称传感器线缆长度 | 1.6 m ± 0.5 mm |
传感器延长线缆（特型） | 2 m ± 0.5 mm |
静态重复性 | 0.005 μm |
信号温度稳定性2 | ＜0.005% FSO/℃ |
长期稳定性 | ＜0.04% FSO/month |
灵密度 | 50 mV/μm |
带宽（-3dB） | 2 kHz |
传感器输出电压 | 0 ... 10 VDC（测量范围内） |
控制器工作温度范围 （非真空部分） | +10至+50 ℃ |
探头和线缆工作温度范围 （真空部分） | -50 to +150 °C |
电容真空接插件3 | SWH.0S.650.CTMSV（母对母） |
供电方式 | AC220V/50Hz |
1. 系统与传感器匹配（出厂已校准） 2. FSO =满量程输出 | |
产品应用案例
安装方式
