压电偏转台 ∣ PT2T225-040S-S(大承载)
产品特性:θxθz轴偏转/旋转台,高承载承载能力、高动态应用
- 运动方向: θx、θz 轴
- 标称行程: 0.4x0.4mrad
- 外形尺寸: 225×225×90 mm
- 承载能力: 60Kg
咨询服务热线:
13162165677应用于半导体/微细加工/分析仪器/微扫描/生物技术/光学领域 压电 ● 纳米 ● 定位 ● 运动 ● 控制 ● 系统 ● 定制 ● 解决方案
应用于半导体/微细加工/分析仪器/微扫描/生物技术/光学领域 压电 ● 纳米 ● 定位 ● 运动 ● 控制 ● 系统 ● 定制 ● 解决方案
产品特性:θxθz轴偏转/旋转台,高承载承载能力、高动态应用
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13162165677产品型号 | PT2T225-040S | PT2T225-040S-S | 公差 | 备注 | |
运动自由度 | θx、θz | θx、θz | - | - | |
传感器类型 | - | SGS | - | - | |
标称行程范围(@0~+120V) | 80”[Sec] ≈ 0.4mrad/轴 | 80”[Sec] ≈ 0.4mrad/轴 | ±10% | - | |
最大行程范围(@-20~+150V) | 100”[Sec] ≈0.5mrad/轴 | 100”[Sec] ≈0.5mrad/轴 | ±20% | - | |
分辨率 | 0.02μrad | 0.02μrad | typ. | Note 1 | |
重复定位精度 | - | (θz)0.25μrad、(θx)0.24μrad | typ. | - | |
线性度 | - | (θz) 0.13%(θx)0.2% | typ. | - | |
空载阶跃时间 | 5ms | 5ms | typ. | Note 2 | |
承载能力(推荐) | 600 N | 600 N | typ. | - | |
谐振频率 | 0g | (θz)500Hz、(θx)850Hz | (θz)500Hz、(θx)850Hz | - | Note 3 |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | - | - | |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | Note 4 | |
承载面尺寸 | 170 x 170 mm | 170 x 170 mm | - | - | |
外形尺寸(WxHxL) | 225×225×90 mm | 225×225×90 mm | - | - | |
重量 | 20000 g | 20000 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
线缆长度 | 1.5m/轴 | 1.5m/轴 | ±10mm | - | |
本体材质 | 铝、钢 | 铝、钢 | - | - |
Note:
1. 指实际分辨率,为PCM931压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。)。
2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。
3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率80%下使用。
4. 线缆长度可定制。
5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。
6. 可定制连接器型号。
注:以上规格参数基于实验室环境测得。