压电物镜台 ∣ PFV-800U
应用领域:超分辨率显微镜、光学圆盘显微镜、共聚焦显微镜、3D成像筛选、干涉测量
- 运动方向: Z 轴
- 标称行程: 600~800 μm(闭环)
- 外形尺寸: 61 × 47.5 × 48 mm
- 承载能力: 300g
咨询服务热线:
13162165677应用于半导体/微细加工/分析仪器/微扫描/生物技术/光学领域 压电 ● 纳米 ● 定位 ● 运动 ● 控制 ● 系统 ● 定制 ● 解决方案
应用于半导体/微细加工/分析仪器/微扫描/生物技术/光学领域 压电 ● 纳米 ● 定位 ● 运动 ● 控制 ● 系统 ● 定制 ● 解决方案
应用领域:超分辨率显微镜、光学圆盘显微镜、共聚焦显微镜、3D成像筛选、干涉测量
咨询服务热线:
13162165677规格型号1 | PFV-600U-S | PFV-800U-S | 公差8 |
运动轴 | Z | Z | - |
集成传感器 | SGS | SGS | - |
标称行程范围2(@0~+120V) | 600 μm | 800 μm | ±10% |
最大行程范围2(@-20~+150V) | 750 μm | 1100 μm | ±20% |
分辨率3 | 6 nm | 15 nm | typ. |
最小移动步长4 | 20 nm | 27 nm | typ. |
线性误差 | 0.05% | 0.05% | typ. |
重复定位精度(全行程) | 0.05% | 0.05% | typ. |
角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转) | <80 μrad | <80 μrad | typ. |
承载能力5 | 3 N | 3 N | Max. |
谐振频率(0g) | 280 Hz | 240 Hz | ±20% |
运动方向刚度 | 0.12 N/μm | 0.12 N/μm | ±20% |
运动方向推力/拉力 | 80N / 20N | 80N / 20N | ±20% |
驱动机构 | PZT | PZT | - |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
线缆长度6 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
螺纹适配 | RMS, M25, M26, M27, M28、M32 | RMS, M25, M26, M27, M28、M32 | - |
外形尺寸(长×宽×高) | 61 × 47.5 × 48 mm | 61 × 47.5 × 48 mm | - |
重量7 | 330 g | 360 g | ±5% |
PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - |
本体材质 | 钢、铝 | 钢、铝 | - |
注:所有规格参数基于室温(22°C±3°C)测得,欲了解更多信息,请与我们联系。表中“-”表示为不适用。
1.尾缀“-S”为闭环,内置位置传感器。开环尾缀不带“-S,无线性误差、重复度数据。
2.最大驱动电压为-20V~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0...+120V,更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS(1σ)值进行测量和指定。
4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值,它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下,参数表中为16-Bit对应的位移步长值。
5.轴向载荷,更高的负载请咨询,注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6.更长的线缆长度请咨询。
7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值;typ.表示标准典型数据值,检测报告中会给出实际的测量数据值。