压电扫描台 ∣ PK3L100-100UA
应用领域：微纳技术、干涉测量、测量技术、生物技术、扫描和筛选
- 运动方向： XYZ 轴
- 标称行程： 100 μm（闭环）
- 外形尺寸： 150 × 150 × 30 mm
- 中空尺寸： 60×60mm
咨询服务热线：
13062620377规格型号 | PK3L150-100UA-S | PK3L150-100U-S | 公差 |
运动自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | |
传感器类型 | Strain Gage | Strain Gage | |
标称行程范围1（@0~+120V） | 100 μm x 100 μm x 5 μm | 100 μm x 100 μm x 100 μm | ±10% |
最大行程范围（@-20~+150V） | 130 μm x 130 μm x 9 μm | 130 μm x 130 μm x 130 μm | ±20% |
分辨率2 | （XY）3 nm、（Z）0.2 nm | （XYZ）3 nm | typ. |
线性度 | 0.05%F.S | 0.05%F.S | typ. |
重复定位精度 | 0.02% | 0.02% | typ. |
承载能力3 | 50 N | 50 N | Max. |
谐振频率（0g） | （XYZ）190 Hz、190 Hz、1100 Hz | （XYZ）190 Hz、190 Hz、380 Hz | ±20% |
运动方向推拉力 | 40 / 20N | 40 / 20N | ±20% |
X、Y向上的偏转角 | ±10 urad | ±10 urad | ±20% |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
线缆长度4 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | 60 × 60 mm | 60 × 60 mm | |
外形尺寸（长×宽×高） | 150 × 150 × 29.5 mm | 150 × 150 × 29.5 mm | |
重量5 | 1.40 Kg | 1.40 Kg | ±5% |
PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | |
本体材质 | 钢、铝 | 钢、铝 | |
推荐控制器 | PCM331S、PCM330S | ||
注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）及16Bit控制器测得的数据。尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。欲了解更多信息，请与我们联系。
1.最大驱动电压为0~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V。
2. 分辨率为指实际最小移动步长,通过激光干涉仪测得的实际数据。
3.更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
4.更长的线缆长度请咨询。
5.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
