应用领域：超分辨率显微镜、共聚焦显微镜、3D成像、干涉测量、半导体测量技术、活细胞成像、产生 3D 图像的光学切片、用于延时成像的自动对焦系统、高含量筛选、表面分析、晶圆检测、扫描干涉测量。压电显微扫描台是采用压电陶瓷驱动,基于高精度无摩擦柔性铰链导向结构,专为高分辨率显微扫描系统应用设计的纳米定位平台,超大中心通孔和超薄外形设计,可更好的集成于显微扫描系统中。可放入附件板可用于各种样品，包括孔板、微量滴定板、载玻片和培养皿等。
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13162165677规格型号1 | PFR150-400U-S | 公差8 |
运动轴 | Z | - |
集成传感器 | SGS | - |
标称行程范围2（@0~+120V） | 400 μm | ±10% |
最大行程范围2（@-20~+150V） | 500 μm | ±20% |
分辨率3 | 3.5 nm | typ. |
最小移动步长4 | 15 nm | typ. |
线性误差 | 0.05% | typ. |
重复定位精度（全行程） | 0.05% | typ. |
角摆偏差（俯仰/偏摆/滚转） | 20 μrad | typ. |
承载能力5 | 3 N | Max. |
谐振频率（0g） | 150 Hz | ±20% |
运动方向刚度 | 0.2 N/μm | ±20% |
运动方向推力/拉力 | 30N / 20N | ±20% |
驱动机构 | PZT | - |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | typ. |
线缆长度6 | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | 128.5×86.5 mm | - |
外形尺寸（长×宽×高） | 220.5×150×27.3 mm | - |
重量7 | 835g | ±5% |
PZT&Sensor连接器 | LEMO | - |
本体材质 | 铝、钢 | - |
注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。
1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。
2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS（1σ）值进行测量和指定。
4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下，参数表中为16-Bit对应的位移步长值。
5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6.更长的线缆长度请咨询。
7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。
