压电移相器 ∣ PKVH20-012U
应用领域：显微镜、掩模/晶圆定位、干涉测量、测量技术、生物技术、扫描和筛选。
- 运动方向： Z轴
- 标称行程： 12 μm（闭环）
- 外形尺寸： 30×28.5mm
- 中空尺寸： 10 mm
- 承载能力： 5N
咨询服务热线：
13062620377规格型号 | PKVH20-012U | PKVH20-012U-S | 公差 |
运动自由度 | Z | Z | |
传感器类型 | - | Strain Gage | |
标称行程范围1（@0~+120V） | 12 μm | 12 μm | ±10% |
最大行程范围（@-20~+150V） | 15 μm | 15 μm | ±20% |
分辨率2 | 0.4 nm | 0.4 nm | typ. |
线性度 | - | 0.3%F.S | typ. |
重复定位精度 | - | 0.05% | typ. |
承载能力3 | 5 N | 5 N | Max. |
谐振频率（0g） | 9000 Hz | 9000 Hz | ±20% |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
线缆长度4 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | Φ 10 mm | Φ 10 mm | |
外形尺寸（长×宽×高） | Φ30 × 28.5mm | Φ30 × 28.5mm | |
重量5 | 80 g | 80 g | ±5% |
PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | |
本体材质 | 钢 | 钢 | |
推荐控制器 | PCS210S、PCS211S | ||
注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。
1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。
2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS（1σ）值进行测量和指定。
4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下，参数表中为16-Bit对应的位移步长值。
5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6.更长的线缆长度请咨询。
7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。
订购信息
产品型号 | 传感器类型 | 规格描述 | 电气连接 | 线缆长度 |
PKVH20-012U | - | Z压电纳米台、开环、行程12μm | LEMO | 1.5m |
PKVH20-012U-S | SGS | Z压电纳米台、闭环、SGS传感器、行程12μm | LEMO | 1.5m |
