压电物镜台 ∣ NanoF3D-600U
应用领域：超分辨率显微镜、共聚焦显微镜、3D成像、干涉测量、半导体测量技
- 运动方向： X、Y、Z 轴
- 标称行程： （X、Y）450 μm、（Z）80 μm
- 外形尺寸： 70 × 70 × 26 mm
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13162165677产品型号 | NanoF3D-600U | NanoF3D-600U-S | 公差 | 备注 | |
运动自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | - | |
标称行程范围（@0~+120V） | （X、Y）450 μm、（Z）80 μm | （X、Y）450 μm、（Z）80 μm | ±10% | - | |
最大行程范围（@-20~+150V） | （X、Y）600 μm、（Z）110 μm | （X、Y）600 μm、（Z）110 μm | ±20% | - | |
分辨率 | （X、Y）15 nm、（Z）3 nm | （X、Y）15 nm、（Z）3 nm | typ. | Note 1 | |
重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | - | |
线性度 | - | 0.2% | typ. | - | |
空载阶跃时间 | 5 ms | 30 ms | typ. | Note 2 | |
承载能力（推荐） | 5 N | 5 N | Max. | - | |
谐振频率 | 0g | （X、Y）150 Hz、（Z）190 Hz | （X、Y）150 Hz、（Z）190 Hz | ±20% | Note 3 |
运动方向刚度 | （X、Y）0.25 N/μm、（Z）0.5 N/μm | （X、Y）0.25 N/μm、（Z）0.5 N/μm | ±20% | - | |
运动方向推力/拉力 | 30N / 5N | 30N / 5N | ±20% | - | |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | - | - | |
工作温度范围 | -20~+12 ℃ | -20~+12 ℃ | - | - | |
线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | Note 4 | |
外形尺寸(LxWxH)不含转接件 | 70 × 70 × 26 mm | 70 × 70 × 26 mm | - | - | |
重量 | 350 g | 350 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本体材质 | 钢、铝 | 钢、铝 | - | - | |
Note：
1. 指实际分辨率，为PCM941S压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。（另，驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率，因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。
3. 为压电纳米定位系统共振频率，使用时应避开此频率，建议在负载对应的谐振频率12%下使用。
4. 线缆长度可定制。
5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。
6. 可定制连接器型号。
注：以上规格参数基于实验室环境测得。
