压电偏转镜 ∣ PT2M60-500S
应用领域:图像处理/稳定,光学捕获,激光扫描/光束偏转,激光调谐,激光束稳定
- 运动方向: θx、θy 轴
- 标称行程: 2.5 mrad
- 外形尺寸: 59.5×59.5×56 mm
咨询服务热线:
13162165677应用于半导体/微细加工/分析仪器/微扫描/生物技术/光学领域 压电 ● 纳米 ● 定位 ● 运动 ● 控制 ● 系统 ● 定制 ● 解决方案
应用于半导体/微细加工/分析仪器/微扫描/生物技术/光学领域 压电 ● 纳米 ● 定位 ● 运动 ● 控制 ● 系统 ● 定制 ● 解决方案
应用领域:图像处理/稳定,光学捕获,激光扫描/光束偏转,激光调谐,激光束稳定
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13162165677产品型号 | PT2M60-500S | PT2M60-500S -S | 公差 | 备注 | |
运动自由度 | θx、θy | θx、θy | - | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | - | |
标称行程范围(@0~+120V) | 500”[Sec] ≈ 2.5 mrad/轴 | 500”[Sec] ≈ 2.5 mrad/轴 | ±10% | - | |
最大行程范围(@-20~+150V) | 600”[Sec] ≈ 3.0 mrad/轴 | 600”[Sec] ≈ 3.0 mrad/轴 | ±20% | - | |
分辨率 | 0.09 μrad | 0.09 μrad | typ. | Note 1 | |
重复定位精度 | - | 0.02% F.S. | typ. | - | |
线性度 | - | 0.2% | typ. | - | |
空载阶跃时间 | 2ms | 4ms | typ. | Note 2 | |
承载能力(推荐) | Φ50×15mm光学镜片 | Φ50×15mm光学镜片 | typ. | - | |
谐振频率 | 0g | 1400 Hz | 1400 Hz | ±20% | Note 3 |
谐振频率 | Φ50x15mm镜片 | 900 Hz | 900 Hz | ±20% | - |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | - | - | |
工作温度范围 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | Note 4 | |
外形尺寸(LxWxH) | 59.5×59.5×56 mm | 59.5×59.5×56 mm | - | - | |
重量 | 400 g | 400 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor连接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本体材质 | 铝(B) | 铝(B) | - | - |
Note:尾缀带“S”为闭环,不带“S”为开环。
1. 指实际分辨率,为PCM931压电控制器实际输出电压分辨率计算得出。(另,驱动电压输出的纹波噪声mVpp对应的分辨率为理论分辨率,因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。即型号为PCM931压电控制器的驱动电压纹波噪声为2mVpp,则对应的压电偏摆镜的分辨率为0.04μrad)。
2. 开环的阶跃响应时间与压电控制器的驱动电流有关。闭环的阶跃响应时间与闭环的调节有关。
3. 为压电纳米定位系统共振频率,使用时应避开此频率,建议在负载对应的谐振频率80%下使用。
4. 线缆长度可定制。
5. 台体重量不包括线缆及连接器的重量。
6. 可定制连接器型号。
注:以上规格参数基于实验室环境测得。
订购信息
产品型号 | 规格描述 | 传感器类型 | 封装形式 |
PT1M60-500S-S | θx偏转 | SGS | 标准 |
PT2M60-500S-S | θx、θy偏转 | SGS | 标准 |
PT1M60-500S | θx偏转 | / | 标准 |
PT2M60-500S | θx、θy偏转 | / | 标准 |